吸气离子泵的分类

通过电磁场或电场的作用，吸气离子泵被电离的气体会吸附在有吸气材料的泵内表面上，真空就会由此形成了，吸气离子泵分为溅射离子泵和蒸发离子泵这两种，下面就问大家具体的介绍一些吸气离子泵的这两种类型。
溅射离子泵使用起来比较简单、而且维护起来也比较的简单，且费用较低，此外，溅射离子泵还具有可靠、无热、无噪声、无水、耗电少等优点；但是，其对惰性气体和大分子量的有机蒸汽抽速较低，对污染很敏感；此外，溅射离子泵设有磁铁，所以其重量和体积都比较大，从而就造成了单位抽速成本高的弊端。
蒸发离子泵的泵内被电离的气体传输到以间断或连续方式升华或蒸发而复在泵内壁的吸气材料上而被吸附，对于氢、氮、氩和氦，蒸发离子泵都会出现不同的抽速。