对于钛升华泵，你了解多少？

钛升华泵是真空泵的一种，其是靠新鲜钛膜的化学吸附作用完成抽气工作的，钛升华泵的结构比较简单，具有抽速大、无油污染、抗辐射和无振动噪声强等特点。

在众多的金属元素（钽、钛、钼、钡、钨等）中，吸气性能最好的是钽，其次就是钛和钼，不过钽和钼需要很高的蒸发温度，所以，钛就常常被作为吸气材料，而钛升华泵就是利用钛的这种特性来对气体进行抽气的装置。不过，钛膜只能吸附像氮、氧、一氧化碳、氢等的活性气体，像氦、氖等的惰性气体是不能吸附的，此外，温度越低，钛膜的吸气性能就越大，钛膜表面积越大，吸附的气体分子数量就越多。
钛升华泵常用作大型真空系统的主泵，抽速可达每秒数万升以上，它常与溅射离子泵组合使用，升华泵专抽活性气体，溅射离子泵则抽除惰性气体，并在真空度较低时，短时间点燃升华泵的大量升华钛，使压强迅速下降，以助溅射离子泵启动。