容积吸气剂泵的工作过程及特点是怎样的？

一、容积吸气剂泵的工作过程
容积吸气剂泵与真空容器是要直接相连的，然后，在真空中，给热丝通电加热，温度达到850-900℃之间即可，将该温度保持10分钟就可以了，在热辐射的作用下进行活化处理。
接下来，工作温度在400℃就可以了，然后对对气体的表面局部化学吸附、表面扩散、内部扩散等，这一过程，要依靠容积吸气剂泵的锆-铝合金表面层来完成，这样可以使气体固溶于金属晶格中进行抽气，当抽气达到饱和后，在进行加热，最低温度为750℃，保持5分钟，抽气能力就可以恢复了。
二、容积吸气剂泵的特点
容积吸气剂泵可用来补充溅射离子泵对活性气体的抽速，而且还可以不用液氮就能在在短时间内获得超高真空；积吸气剂泵在10-7-10-10乇范围内抽气较稳定。
此外，容积吸气剂泵还可以作为溅射设备的抽气泵，而通入的稀有气体欲在高压强中进行纯化时，也可以用容积吸气剂泵来进行抽气。