无油真空泵的应用领域介绍

无油真空泵又称作无油干式真空泵，属于干式真空泵。
无油真空泵由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，在离心力的作用下，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，以达到抽气的目的
无油真空泵的应用领域介绍：
1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。
2.半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不让微粒混入泵油中，而是要微粒排出泵外，选用一定型式的干式机械真空泵即可满足要求。
4.应用在在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成的污染，最好选用干式真空泵。
5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，进而防止油污染。